Металлоорганические соединения

Описание продукта: Металлоорганические соединения Химическое осаждение в газовой фазе Заказать онлайн

Химическое осаждение в газовой фазе металлических органических соединений (MOCVD)
Мы предлагаем полный набор MOCVD, основными продуктами которого являются настольные прически, промежуточные образцы и производственные модели. Конструкция реактора может быть легко повышена для удовлетворения потребностей производства чипов большого диаметра в соответствии с технологическими потребностями. Мы также можем проектировать для клиентов, чтобы удовлетворить потребности клиентов в специальных процессах и приложениях. Компоненты системы включают: реактор, систему передачи газа, электрическую систему управления и систему обработки выхлопных газов.
Направления применения: оксиды, нитриды, карбиды, сернистые (элементные) соединения, полупроводники и т.д.
Предоставление реакторов, подходящих для исследований различных материалов:
Прозрачный проводниковый оксид (TCO) применяется к LCD, солнечным батареям, прозрачным нагревателям, электродам, светодиодам, OLED и другим аспектам, включая: P - тип ZnO, ITO, SrCuO, MgAlO, SrRuOM и другие системы MOCVD;
MEMS & MOEMS включает в себя: системы MOCVD, такие как PZT, ZrO, NbO, LinbO, TiO2, SiO2, PbMgO, CMO, Ta2O5 и другие;
Резервуары (DRAM & NVRAM) диэлектрические / пассивированные материалы применяются к сеткам, диэлектрическим слоям, ферроэлектрическому, высокочастотному оборудованию, пассивации, защитному слою и т. Д. В том числе: BST, PZT, SBT, CMO, BLT, Hf (Si) O, Ta2O5, Zr (Si) O, Al2O3, MgO и другим системам MOCVD;
волноводы, фотоэлектрические, WDMs. MOEMS и другие материалы, включая: YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO: Mn, Gan, SiC, Al, W, Cn и другие системы MOCVD;
Другие материалы, такие как: сверхпроводимость, нитриды, оксиды, магнитные материалы, включая: YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO: Mn, Gan, SiC, Al, W, Cn и другие системы MOCVD;
金属及合金, 氧化物, 氮化物, III-V, II-VI. ..；
Полупроводники: SiO2, HfO2, Ta2O5, Cu, TiN, Tan,...
Нитриды и сплавы: Gan, Aln, GaAs, GaAsn...
Высокодисперсные материалы: SrTiO3, BaTiO3, Ba (1 - x) SrxTiO3 (BST)...
Железоэлектрические материалы: SBT, SBTN, PLZT, PZT,...
Сверхпроводящие материалы: YBCO, Bi - 2223, Bi - 2212, Tl - 1223,...
пьезоэлектрические материалы: (Pb, Sr) (Zr, Ti) O3, модифицированный титанат свинца. ......
Металл: Pt, Cu,...
Гигантские магниторезисторы. ......
Тепловое покрытие, барьерное покрытие, механическое покрытие, оптические материалы. И...


Мы предлагаем от настольных реакторов (для исследовательских и усовершенствованных потребностей) до автоматизированных производственных систем. Из - за адаптивности к изменяющимся типам материалов и экономической стоимости настольные реакторы являются наиболее подходящим вариантом для любого исследователя и могут быть легко модернизированы до массового производства.
Научно - исследовательское оборудование MOCVD, содержащее процесс прямого впрыска жидкости ALD, в той же камере для завершения осаждения и отжига.
- Более низкие затраты на оборудование и использование, меньшее использование источников предшественников, меньшие размеры полости и высокое качество осаждения пленки!
Идеально подходит для научных исследований в университетах и институтах!

Параметры прибора:
1 / 1 - 4 - дюймовая система MOCVD;
2) специально разработан для удовлетворения потребностей научно - исследовательских организаций;
3 / MOCVD - системы могут осаждать оксиды, нитриды, металлы, мембраны III - V и II - VI на твердых и жидких источниках органических металлов на разных основаниях, в форме MOCVD;
4 / MOCVD с блоком непосредственной обработки прекурсоров, который может широко использоваться для разработки и подготовки экстенсивных материалов;
5 / Система нагрева инфракрасных ламп в камере MOCVD обеспечивает процесс отжига в режиме онлайн;

Характеристики и характеристики:
1, температурный диапазон: комнатная температура до 1200°C;
2. Свойства газовой смеси с контроллером потока массы;
3, вакуумный диапазон: ~ 10 - 3 Torr, необязательно с высоким вакуумом;
4) Выбор бардачка;
5 Широко принят клиентами.
6 Прочный и долговечный
7 Высокая надежность
8 Хорошая повторяемость
9, Экономическая применимость