-
Электронная почта
jeffreywang@taihao-hz.cn
-
Телефон
13858065668
-
Адрес
улица Шуанлун, дом 136, район Сиху, Ханчжоу
Ханчжоу Тайхао
jeffreywang@taihao-hz.cn
13858065668
улица Шуанлун, дом 136, район Сиху, Ханчжоу
прибор контроля толщины мембраны
Контрольный прибор для тонкопленочного покрытия XTC / 3, используемый в однослойном и многослойном покрытии, оснащен технологией Model Lock1, которая обеспечивает надежную защиту от скачков в режиме и обеспечивает последовательное качество покрытия. Контроль скорости покрытия и толщины мембраны с помощью прибора управления покрытием на тонкой пленке XTC / 3 осуществляется с высокой степенью точности и позволяет контролировать практически любое количество мембран. Легко устанавливаемая и стабильная надежность обеспечивает высокую производительность.
Особая точка
• Одномембранные и многомембранные модели
Технология ModelLock предотвращает ошибки толщины мембраны из - за скачков в режиме
• Поддержка INFICON Crystal 12ТМ, CrystalSix? Автоматическое переключение кристаллов с двумя зондами для высокой производительности
• Многомембранные модели XTC / 3M поддерживают до 99 технологических процессов, 999 мембран, 32 покрытия, 2
Датчики и два источника
Модель XTC / 3S с одной мембраной поддерживает до 9 покрытий, 2 датчиков и 2 источников
Легко читаемый графический дисплей TFT LCD
• Для удобства поиска * и описательные названия пленок и процессов
• Программное обеспечение для подключения к Ethernet
• Windows, работающая отдельно (без компьютера) или на ПК? Элементы программного обеспечения
• Замена интерполяционного интерполяционного контроллера INFICON XTC / 2 см. (только функции XTC / 2 и группы команд)
прибор контроля толщины мембраны
Технические нормы
Функции, параметры, или технические спецификации |
Однослойная пленка XTC / 3S |
Многослойная пленка XTC / 3M |
Измерение изменения частоты разрешения |
+ 0,05 Гц |
+ 0,05 Гц |
Измерительный интервал |
0.25 сек. |
0.25 сек. |
Разрешение / измерение толщины и скорости |
0.06A, Инструменты / плотность = 100 |
0.06A, Инструменты / плотность = 100 |
|
Базовая частота = 6M Hz |
Базовая частота = 6M Hz |
Поддержка преобразования XTAL2 |
да |
да |
Компьютерная связь |
Стандарт RS232, опция TCP / IP для Ethernet |
Стандарт RS232, опция TCP / IP для Ethernet |
Большой RS232 |
115,2 килотонн |
115,2 килотонн |
Количество реле |
12 Стандарты, нет примеров |
12 Стандарты, примеры могут |
Количество программируемых реле |
1 |
1 |
Функция каждого реле. |
1 |
1 |
Номинальное напряжение реле |
30 вольт постоянного тока или 30 вольт переменного тока RMS или 30 вольт постоянного тока |
30 вольт постоянного тока или 30 вольт переменного тока RMS или 30 вольт постоянного тока |
|
42V Пик, в 2.5 АН |
42V Пик, в 2.5 АН |
Количество входов |
8TTL, 24 вольт постоянного тока. |
8TTL, 24 вольт постоянного тока. |
Количество программируемых входных функций |
1 Нет примеров |
1, Примеры |
Ввод регистратора |
1 |
1 |
Ручной источник питания / ручной контроллер |
да |
да |
вентилятор |
нет |
нет |
Режим тестирования |
да |
да |
Задержка выключателя |
да |
да |
Подинструменты |
да |
да |
Разрешенная частота фазового сдвига |
1,0 М Гц |
1,0 М Гц |
Размер корпуса |
1 / 2 стойка, высота 2U |
1 / 2 стойка, высота 2U |
Разрешение по скорости и толщине мембраны |
0,1 А с, от 0,0 до 99,9 А / с; 1А / с, от От 100 до 999А / с |
0,1 А с, от 0,0 до 99,9 А / с; 1А / с, от От 100 до 999А / с |
|
Показать разрешение толщины мембраны = 1А |
Показать разрешение толщины мембраны = 1А |
Выберите покрытие через вход |
да |
Нет |
Язык руководства пользователем |
Английский, китайский |
Английский, китайский |
Кольцо управления |
ПИД |
ПИД |
Регистрация данных |
да |
да |
Функции качества и стабильности |
да |
да |
Образец и хранение |
да |
да |
Выбор тигеля |
да |
да |
вход с обратной связью в тигель |
да |
да |
Выберите полярность напряжения |
Да, + / - 2.5, 5, 10 В |
Да, + / - 2.5, 5, 10 В |
|
15 - битное разрешение |
15 - битное разрешение |
код блокировки программы |
да |
да |
Процесс маркировки пользователя / покрытие |
Нет |
да |
Совместимость с XTC / 2 RS232 |
Да (ограниченный) |
Да (ограниченный) |