прибор контроля толщины мембраны

Многоцелевой IC / 5прибор контроля толщины мембраныИдеально подходит для контроля скорости осаждения и толщины мембраны в многоканальной, многотигельной, многоматериальной или многопроцессной системе. IC / 5 может удовлетворить потребности даже сложных, требовательных и специальных приложений. Он хорошо разбирается в управлении процессами, логических функциях, программах и емкости мембранного хранилища, управлении данными процесса, особенно в управлении скоростью осаждения и толщиной мембраны.

Основные параметры производительности

• Разрешение частоты: 0,03 Гц при 6,0 МГц

♦ Качественное разрешение: 0375 нг / см²

· Частота индукционного чипа: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 МГц

• Толщина мембраны показывает: 0000–999,9 K & Aring;

• Скорость пленки: 00.0 - 999 Ang / sec (0 - 9,99 мкм / мин)

· Количество мембран: 1 - 999

• Графический дисплей: 256×64 LCD, фоновое освещение CCFL

• Полная конфигурация

• Один узел MDC360C, один генератор и один кабель, один зонд и пять чипов

• Размер узла: 16,98×3,47×9,355 (в единицах: дюймы)

Ширина передней панели 18,98 дюйма

Всеобъемлющее управление процессом

IC / 5 имеет широкий спектр функций, он может запускать процесс опорожнения, управлять клапаном, включать базовый нагреватель и так далее. Эти усовершенствования устраняют необходимость оснащения системы вспомогательными приборами, что снижает ее сложность и стоимость. Функции логики и управления IC / 5 включают 100 программируемых логических состояний; Платы реле ввода / вывода и TTL обеспечивают до 24 выходов реле, 28 входов TTL, 14 выходов TTL, 20 отсчетов и 20 отсчетов времени. Логическое состояние может быть связано с внешним входом или выходом. Каждое состояние может содержать до пяти функций и связываться с помощью булевой логики. IC / 5 может обеспечивать шесть нормируемых аналоговых выходов для управления источником или вывода с помощью графического регистратора, отклонения от скорости осаждения, толщины мембраны или скорости осаждения.

Мощный процесс назначения и управления данными

Мембранный контроллер IC / 5 предлагает ряд функций и вариантов, которые помогают пользователям эффективно управлять процессами назначения и данных:

Богатое бортовое хранилище - до 50 процессов и 250 мембран. Позволяет мгновенный доступ к данным процесса и документам рецепта, которые вы используете. Эта входящая способность особенно ценна для сложных процессов, содержащих многие мембраны, для систем покрытия, работающих в различных технологических процессах, а также для таких применений, как разработка или разработка процессов.

Дисковые драйверы - для неограниченного хранения данных о процессе и рецептов. Элементы программного обеспечения для автономного редактирования - используются для ввода или ввода данных на компьютере (не на панели IC / 5). Программирование с помощью этого программного обеспечения более удобно и эффективно, особенно для многослойных мембранных и полиматериальных процессов. Регистрация данных - информация о процессе (толщина конечной мембраны, средняя скорость осаждения, количество операций, слоистость мембраны и т. Д.) может быть автоматически записана в формате ASCII в порт связи с дистанционным управлением, порт принтера или диск. С помощью драйверов дисков IC / 5 может сохранять данные в развернутом формате, упрощая хранение и обработку данных в процессе. Регистрация данных облегчает послеоперационный анализ и быструю коррекцию. Для производства, которое соответствует сертификации ISO9000 или QA, отслеживание процессов является *.

Авто Z –Тщательное покрытие для многослойных материалов

IC / 5 Технология Auto Z, которая автоматически определяет отношение Z, повышает точность управления толщиной покрытия и скоростью осаждения, и пользователям больше не нужно вычислять отношение акустического сопротивления (Z)³При осаждении нескольких материалов на кристалл соотношение Z изменяется в зависимости от соотношения материала на кристалле, поэтому изменение Z - значения является динамическим. Соотношение Z в процессе непрерывной коррекции Auto Z. Эта функция особенно важна для поддержания точной толщины мембраны и скорости осаждения при осаждении стратифицированного или сплавного материала на одном кристалле.

³Авто Z - US 5112642

AUTO TUNE –Для быстрой настройки

Функция Auto Tune в IC / 5 освобождает от повторных проб и экономит время настройки, позволяя быстро и автоматически определять константы замкнутого цикла управления обратной связью источника. Auto Tune выбирает лучшие алгоритмы из нескольких алгоритмов управления - включая трехпараметрические PID - алгоритмы (пропорциональные, интегральные, дифференциальные) - для достижения плавного управления различными источниками.

Многодатчиковое измерение- Да.Для высокой повторяемости

Для некоторых оптических покрытий и других применений особенно важны повторяемость и однородность. Контрольный прибор IC / 5 может включать измерения до восьми датчиков, уменьшая неравномерное распределение источника и обеспечивая хорошую * скорость осаждения мембраны и толщину конечной мембраны между последней и следующей операцией покрытия. Когда пластина вращается на раме планетарной базы, IC / 5 одновременно собирает данные о местоположении каждого датчика, чтобы полученная информация отражала распределение текущего источника. По сравнению с контрольным прибором для отдельных датчиков измерения с несколькими датчиками значительно улучшают повторяемость толщины мембраны, поскольку они контролируют фиксированную общую скорость осаждения мембраны и не зависят от колебаний в распределении источника. При изменении схемы распределения источника IC / 5 соответствующим образом корректирует мощность. Хотя скорость осаждения на любом из датчиков может существенно варьироваться общая скорость осаждения остается неизменной. Общее количество материала, осажденного на каждом фундаменте, строго контролируется; Общая точность толщины мембраны может быть увеличена в два - три раза по сравнению с контрольным прибором для одного датчика. Благодаря точному обнаружению изменений характеристик, вызванных истощением источника, измерения с несколькими датчиками могут помочь вам:

Когда нужно добавлять источник?

Определение оптимальных параметров сканирования, дальности и высокочастотной вибрации электронных пушек

Формирование лучшего рецепта.

Поскольку все датчики подключены к одному контроллеру IC / 5, требования к пространству в шкафу невелики, и скорость коррекции в три - пять раз быстрее, чем в старой комбинации мультиконтроллеров / компьютеров.

Точное совместное осаждение

IC / 5 контролирует одновременное покрытие обоих материалов. Он содержит запрограммированный параметр отношения, который контролирует отношение сплава к изменяющейся скорости осаждения, а также параметр перекрестной чувствительности (или последовательной адаптации), который автоматически компенсирует покрытие материала из одного источника на датчик, используемый для управления другим источником. Функция Auto Z также способствует совместному осаждению IC / 5, сохраняя точность толщины мембраны, когда различные материалы смешиваются на одном кристалле.

Легко помещается в существующее устройство.

ИК/5прибор контроля толщины мембраны Имеются подходящие кабели, которые легко монтируются в существующие устройства для замены старых мембранных контроллеров INFICON или других производственных предприятий. Пожалуйста, свяжитесь с нашим отделом.