вакуумный насос постоянного давления

KT - PID1000Z - это вакуумная система управления постоянным давлением, система поддерживает 4 куб. - 16 куб. м / ч скорость откачки различных типов двухступенчатых вращающихся механических насосов, через линейный клапан для управления скоростью откачки вакуумного насоса, а затем получить точное измерение давления в камере и управление постоянным давлением, может быть объединена с трубчатой печью нашей компании, мембранным прибором, герметизатором и другим оборудованием для достижения точного управления постоянным давлением в таких процессах, как PVD, CVD и PECVD.

Широко используется для диффузии, окисления, экстенсивного, CVD、 Плазменное распыление и процесс нанесения покрытия, волоконно - оптическая плавка, газораспределительная система и другие аналитические приборы.

Технические параметры:

Режим управления: управление алгоритмом PID

Диапазон управления: 1000Па - 1Па (в зависимости от скорости откачки вакуумного насоса размера полости)

PID - диапазон регулируемых скоростей откачки: 0 - 100%

Поддержка вакуумных насосов: скорость откачки 4 - 16 м3 в час

Вакуумный фланец насоса: KF16 KF25 KF40