эллипсоид

UVISEL 2 оснащен системой визуализации образцов (технология), которая может использоваться для наблюдения за любой поверхностью образца. Сочетание мерцающих пятен восьми размеров позволяет точно локализовать пятна в области, подлежащей измерению в различных ограниченных размерах на образце.

В UVISEL 2 встроена небольшая в мире технология бесхроматических микроволновых пятен Zui, размер которых может достигать 35 мкм, что позволяет охватить большой спектральный диапазон при проведении микроизмерений.

Профессиональная программная платформа DeltaPsi2, которая работает просто и интуитивно, обеспечивает различные оптимизированные функции измерения и моделирования для точного анализа пленки.

UVISEL 2 - эллиптический поляризационный спектрометр, который превосходит все остальные модели. Он унаследовал доказанную высокую точность Zui и высокую чувствительность Zui классического спектрометра эллиптической поляризации UVISEL и был переработан, чтобы значительно улучшить производительность.

Линия измерительной пленки

Эллиптическая поляризация - это оптическая неразрушающая измерительная технология, которая точно отображает тонкие пленки, поверхности и интерфейсы. Эллиптический поляризованный спектрометр в основном используется для измерения толщины пленки (от 1 до 30 мкм) и оптической константы (n, k).

спектрометр с эллиптической поляризацией

* Технология, обладающая * тонкопленочными характеристиками, обеспечивает высокую чувствительность и точность измерений Zui.

Оригинал и онлайнэллипсоид

Высокоточный и высокоскоростной мониторинг и контроль процессов осаждения пленки и травления.

эллипсоидКонтроль качества пленки

Новая технология: измерение толщины пленки и оптических констант в один клик!

Система измерения больших площадей

Система, разработанная специально для индустрии дисплеев, может обрабатывать подложку дисплея седьмого поколения.

программное обеспечение

DeltaPsi2 - это программное обеспечение нового поколения, разработанное на основе универсального графического интерфейса пользователя (GUI). Цель состоит в том, чтобы обеспечить интуитивно понятное и всестороннее взаимодействие между пользователем и прибором. Это многозадачное программное обеспечение имеет многофункциональный характер, может использоваться для конфигурации как вне, так и на месте и может приводить к полной автоматизации.