Фотолитограф URE - 2000 / 30

1.Технические характеристики

lВысокоуровневый бинокулярный микроскоп и22Широкоэкранный жидкокристаллический дисплей с дюймовым экраном одновременно наблюдает за процессом выравнивания и обеспечиваетUSBЭкспорт; Как для высокоточного выравнивания, так и для обнаружения результатов экспозиции, а также результатов экспозиции и удобного хранения

lИспользование инвертированного освещения, более удобная замена амальгамных ламп, более эффективное охлаждение и защита от утечки света

lРабота на двух рабочих местах с выравниванием и экспозицией, автоматическое переключение двух рабочих мест

lИспользование встроенных компьютеров+Работа с сенсорным экраном, более удобная в эксплуатации, более модная

lВерхний и нижний фильм, версия очень удобна, высокая степень автоматизации, простая работа. Преподавание и научные исследования для колледжей и университетов (хорошая надежность, удобная демонстрация) и заводов(Высокая эффективность)Особенно уместно.

2.Технические параметры

lПлощадь экспозиции:100mmХ100mm(Можно повысить до6дюймов)

lДлина волны экспозиции:365nm

lРазрешение:1mm(Толщина клея1.5 mmПрямой клей)

lВыровнять точность:±0.6mm

lДиапазон движения сканирующей станции микроскопа:XА.10mm;Y:10mm

lРазмер маски:2.5дюймов,3дюймов,4дюймов,5Дюйм

lРазмер образца: диаметрf15mm--f100mm(Различные неровности)

Толщина0.1mm--6mm

lРежим экспозиции: таймер (метод обратного отсчета) и фиксированная доза

lВакуумная контактная экспозиция, жесткая контактная экспозицияСветКонтактная экспозиция под давлением и четыре функции близкой экспозиции

lНеравномерность освещения: 3В процентах（f100mmСфера охвата)

lБиокулярный двухполюсный микроскоп: как через окулярВизуальное зрениеВыровнять, также можно пройтиCCD+Выравнивание дисплея, оптическое изображение, оптическое максимальное кратное400Удвоить, Оптика+Электронное усиление800Б

Три пары объективов:4В два раза,10В два раза,20Б

Три пары окуляров:10В два раза,16В два раза,20Б

lВыровнять контактное давление, чтобы обеспечить повторение с помощью датчика

lЦифровая настройка на зазоры и промежутки

lИмеет интерфейс модуля печати, а также интерфейс, близкий к модулю

lМаршрут движения маски относительно образца:

X:±5mm; Y:±5mm;qА.±Шесть?

lМаксимальная толщина кокса:400mm（SU8Клей, пользователь предлагает условия тестирования)

lПараллельность источников света:3А?

lПлотность энергии экспозиции:>25mW/cm2,Температура поверхности освещения< 35А?C

lОднослойная экспозиция при нажатии одной кнопки

lИспользование шаровой аэродинамической плавучести+Три лапы.

lМощность амальгамных ламп:350W(Постоянный ток,Импорт)

3.Внешний размер:1400mm(Длинный)А?900mm(Б)А?1500mm(Высокий)

4.Настройка

（1) Экспозиционная головка

lХолодный эллипсоид

l350WИмпортные амальгамные лампы постоянного тока(Осман, Германия)

lXYZУстановка для регулирования амальгамных ламп

lВентилятор охлаждения

lОптическая система: фиксированная световая панель, переменная световая панель, затвор, коллиматорное зеркало1Коллиативное зеркало2Муховые глазные линзы (79Линзы),iЛинейный фильтр, полевое зеркало, холодное зеркало1Отражение.2

（2Направление на рабочий стол

lоснование фотолитографа

lСтол переключения рабочих мест (цилиндр)

lплощадка для сплошного движения шаблонов

lотносительный стол шаблона

lПоворотный стол

lмеханизм выравнивания образцов,Автозавершение в 3 часа

lмеханизм фокусировки образцов

lверхний и нижний механизм

lПлоскоподшипниковый стол4Всего:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(По желанию пользователя)

lЗажим маски4Всего:2.5дюймов,3дюймов,4дюймов,5дюймов (увеличение или уменьшение по требованию пользователя)

lверхний и нижний механизм отбора образцов

（3Выровнять микроскоп

lИсточники света, Электричество

lБинокулярное поле зрения к объекту микроскопа

lОчки3Да (10В два раза,16В два раза,20В два раза, всего6Всего)

lОбъект3Да (4В два раза,10В два раза,20В два раза, всего6Всего)

lCCDНажмите на систему,22ЖК - монитор дюймовый

（4) Электрическая система управления

lЗапуск ртутных ламп(350Wамальгамная лампа постоянного тока)

lавтономная система управления

lПанель управления

lСтол шкафа управления

（5Пневматическая система

lЦилиндры, электромагнитные клапаны, редукционные клапаны, пневматические переключатели и т.д.

lПривод электромагнитного клапана

lПневматические приборы

（6) Другие приложения

lВакуумный насос.

lОдин компрессор

lКомплектный интерфейсный канал

（7) Техническая информация

lэксплуатационная спецификация

lСертификат о проверке продукции