Небольшой одноцелевой магнитно - управляемый распыляемый мембранный прибор - это наша компания самостоятельно разработала высокоэкономичное оборудование для покрытия с магнитным распылением, с миниатюризацией, стандартизацией характеристик. Магнитная мишень имеет 1 - дюймовый, 2 - дюймовый выбор, клиент может выбрать самостоятельно в зависимости от размера покрытой пластины; Устанавливается источник питания постоянного тока мощностью 150 Вт, который может использоваться для покрытия металлическим распылением. Плазменный прибор оснащен вентиляционным интерфейсом, который может входить в защитный газ, если клиент должен войти в смесь газов, вы можете связаться с персоналом, чтобы настроить свой высокоточный расходомер качества для удовлетворения экспериментальных потребностей. Инструмент оснащен усовершенствованной турбомолекулярной насосной группой с предельным вакуумом до 1.0E - 5Pa, в то время как другие типы молекулярных насосов доступны для покупки.
Малый одноцелевой прибор для покрытия методом магнитного распыленияСфера применения:
Это оборудование может использоваться для подготовки однослойной ферроэлектрической пленки, проводящей пленки, легированной пленки и так далее. По сравнению с аналогичными устройствами, одноцелевой магнитно - управляемый плёночный прибор с распылением, после миниатюризации конструкции, высокой степени интеграции, небольшого размера, может быть помещен на рабочий стол для использования, является идеальным оборудованием для лабораторной подготовки пленки материала.
Малый одноцелевой прибор для покрытия методом магнитного распыленияТехнические параметры:
|
Малый одноцелевой прибор для покрытия методом магнитного распыления
|
|
Стол для образцов
|
Размер
|
φ138mm
|
Точность контроля температуры
|
±1°C
|
|
Температура нагрева
|
* Высокий500°C
|
Скорость вращения
|
1-20rpmРегулируемый
|
|
головка с магнитным распылением
|
Количество
|
2” x1(1 "," 2 "Необязательно)
|
Технические характеристики водяного охлаждения
|
10L/minциркуляционный водяной охладитель
|
|
Режим охлаждения
|
Водяное охлаждение
|
|
|
|
Вакуумная полость
|
Размер полости
|
φ180 мм × 215 мм
|
Окно наблюдения
|
Полная прозрачность
|
|
Лазерный материал
|
Кварц высокой чистоты
|
Режим открытия
|
Разъем крышки
|
|
Вакуумная система
|
Тип продукции
|
CY-GZK103-A
|
Интерфейс отсоса
|
KF40
|
|
Молекулярный насос
|
CY-600
|
Выхлопной интерфейс
|
KF16
|
|
Передний насос
|
роторный насос
|
измерение вакуума
|
комбинированный вакуумметр
|
|
Предельный вакуум
|
1.0E-5Pa
|
Источник питания
|
AC;220V 50/60Hz
|
|
Скорость откачки
|
Молекулярные насосы:600L/S Роторный насос:1.1L/S Сводные характеристики вытяжки:20Минутный вакуум может достигать:1.0E-3Pa
|
|
Настройка питания
|
Количество
|
Источник постоянного тока× 1
|
* Большая выходная мощность
|
150W
|
|
Прочее
|
Электрическое напряжение
|
AC220V,50Hz
|
Размер машины
|
500 мм × 350 мм × 400 мм
|
|
Мощность всей машины
|
1.7 КВт (вакуумный насосный агрегат 1.5 КВт + собственный 0,2 КВт)
|
Вес всей машины
|
30kg
|