Дифференциальный интерферометр Renishault RLD10

ДоговариваемыйОбновление на01/22

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Дифференциальный интерферометр Renissault RLD10 в Великобритании $r $nRLD10 Дифференциальный интерферометр $r $n позволяет измерять изменения положения по отношению к определенному эталонному объекту.

Подробности о продукте

Дифференциальный интерферометр RLD10

Дифференциальный интерферометр позволяет измерять изменения положения по отношению к заданному эталонному объекту.

Дифференциальная пусковая головка имеет * оптическую конструкцию для достижения очень низких характеристик SDE. Встроенное лазерное коллимационное вспомогательное зеркало обеспечивает регулировку угла тангажа и крутки во время настройки, тем самым улучшая процесс коллимации (только для плоских зеркал).

Пусковые головки RLD10 - X3 - DI могут быть установлены на внешней стенке рабочей полости с помощью простой трехконтактной стойки. Световой путь можно корректировать без входа в рабочую полость, встроенное лазерное коллимационное вспомогательное зеркало может самостоятельно регулировать тангаж и крутку опорного и измерительного луча, а конструкция системы установки позволяет снимать головку и регулировать положение головки, что оказывает минимальное влияние на коллимацию системы.

Особенности и преимущества

Отличные измерения.- Точность стабилизации частоты ppb, сверхнизкая периодическая ошибка, выходное разрешение 38,6 pm.
Дифференциальная конфигурация- Измерение смещения движущейся платформы по отношению к установленной стойке, что устраняет распространенные ошибки режима, такие как перемещение боковой стенки рабочей зоны, связанное с колебаниями окружающей среды.
быстрорегулируемая коллимация- Использование четырех встроенных лазерных коллимационных вспомогательных зеркал для простой коррекции за пределами вакуумной камеры, что устраняет допуски на установку вакуумной камеры и группы зеркал.

Спецификация

Маршрут оси	0 м - 1 м
Разрешение (с использованием конфигурации RLU)	Моделированная ортогональность = λ / 4 (158 нм) Цифровая ортогональность = 10 нм RPI20 Разрешение = 38,6 pm
Нелинейная погрешность системы * (SDE) * Без интерфейса	Менее 50 мм / сек и интенсивность сигнала > 70% < ±1 нм 1 м / сек и интенсивность сигнала > 50% < ±6 нм
скорость	До 1 м / с

Обычно используется Renishault RLU20 для настройки передающей головки дифференциального интерферометра. Высокая стабильность лазерного источника RLU20 в сочетании с высокой производительностью передающей головки дифференциального интерферометра, несомненно, станет идеальным выбором для применения в вакуумных камерах и других средах строгого контроля кондиционирования воздуха.

Дифференциальный интерферометр Renishault RLD10

Похожий продукт рекомендовать