Сфера применения компактного прибора с магнитным распылением постоянного тока:
Компактный прибор с магнитным распылением постоянного тока предназначен в основном для изготовления некоторых металлических пленок, площадь которых может достигать 4 дюймов. Небольшой внешний вид оборудования, высокая рентабельность, является идеальным покрытием оборудования для изготовления различных металлических пленок, вы можете выбрать различные металлические мишени и вакуумные насосы с оборудованием для использования.
Технические характеристики компактного прибора с магнитным распылением постоянного тока:
|
Особенности
|
Предназначен для покрытия проб SEM проводящей золотой пленкой.
Компактная машина для плазменного распыления покрытий предназначена для металлических покрытий, таких как золото, платина и серебро.
3.Включая цель 2 "золото (4N)".
|
|
Входное напряжение
|
-
220 VAC 50/60Hz, 200W
-
< 1000 Вт (включая мощность вакуумного насоса)
-
Используя трансформатор 1000 Вт (предохранитель 15 А), можно получить источник питания 110 ВАК.
|
|
выходное напряжение
|
500 VDC
|
|
ток распыления
|
-
0 - 50 мА (max) Регулируемый ток распыления
-
Цифровой амперметр (mA)
-
Защита от перенапряжения
|
|
Время распыления
|
Можно настроить 1 - 120 секунд
|
|
Камера выборки
|
Кварцевые стеклянные трубы, 165
|
|
мм наружный диаметр х 150 мм внутренний диаметр х 150 мм высота
|
Стол для образцов
|
|
2 'Диаметр, регулируемая высота, от образца до мишени 30 - 80 мм.
|
головка распыления
|
|
2 'Магнитно управляемая головка распыления. Ручной щит для защиты мишени.
|
-
Давление вакуума
-
Цифровой вакуумный манометр (Па)
-
KF25 Коммутатор вакуумного насоса
|
|
Предельное вакуумное давление механических насосов составляет 1, за исключением насосов.
|
-
Установка штуцера 1 / 4 Svilock для соединения инертных газовых баллонов.
|
|
На передней панели есть измерительный клапан, который регулирует входной газ.
|
-
Цели
-
Включает золотую мишень диаметром 50 мм × 0,12 мм.
-
Золотая фольга 4N чистоты:
50 мм (2 дюйма) диаметр x
0,12 мм (включено и предварительно установлено на приборе для нанесения покрытия)
необязательная мишень
Золотая мишень (50 мм диаметр × 0,12)
|
|
мм, чистота 4N)
|
Платиновая мишень (50 мм диаметр × 0,12 мм, чистота 4N)
Серебряная мишень (50 мм диаметр х 0,5 мм, чистота 4N)
|
|
Эта модель подходит для покрытия золотом, серебром, платиной. И из - за низкой энергии не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как Al, Mg, Zn или углеродные мишени. Пожалуйста, рассмотрите наши высокомощные машины с магнитным распылением постоянного тока / радиочастотного излучения или тепловые испарительные машины.
|
Размеры и вес продукции
|
L 460мм × W 330 мм × H 520 мм