Трубная печь системы CVD

GR.TFСерия вакуумных печей Подробнее

Вакуумные трубчатые печи серии GR.TF, с разумной конструкцией производительности, набор нескольких функций в одном, безопасность, надежность, практичность достигают желаемого эффекта.

1 Температура 1100°C - 1800°C, зона нагрева 300 мм.

2. Корпус печи имеет двухслойную конструкцию корпуса печи, между двухслойными корпусами печи установлен вентилятор, может быстро подниматься и опускаться температура, температура поверхности корпуса печи низкая.

В печных трубах используются кварцевые или корундовые трубки высокой чистоты, а на обоих концах используется высоковакуумное фланцевое уплотнение SUS304.

4. Материал печи изготовлен из высококачественной импортной вакуумной адсорбции из поликристаллического волокна из оксида алюминия, по сравнению с традиционной твердой печью, энергосбережение значительно улучшилось, имеет сильную устойчивость к внезапному охлаждению, печь печи 1100 ° C состоит из двух частей, из которых верхняя часть печи может быть полностью перевернута назад на 110 ° C, а электрическая печь выше 1100 ° C является одной, что облегчает извлечение экспериментального материала и замену трубы печи. В нагревательных элементах используются шведские резистивные проволоки контеля, силиконовые углеродные стержни и силиконовые молибденовые стержни.

5. Система управления температурой печи использует технологию регулирования искусственного интеллекта, точность управления прибором ±1°C, с PID - регулировкой, нечетким управлением, способностью к самонастройке и может составлять различные программы нагрева, с функцией сигнализации о сверхвысокой температуре, с функцией повреждения и отключения термопары, со встроенной функцией управления параметрическим паролем.

6, скорость нагрева 30°C / мин (рекомендуемая скорость нагрева 10°C / мин), может быть написана 30 - ступенчатая программа автоматического нагрева, управляемый кремниевый контроль, оснащенный цифровым светодиодным вольтметром, амперометром.

7, необязательно с интерфейсом связи RS - 485, программным обеспечением для управления данными, с безбумажной записью исторических данных и кривой нагрева, функциями коррекции отклонения температуры от ошибки, может управлять несколькими устройствами и удаленным диагностическим анализом неисправностей.

8. Разнообразные конструкции защиты безопасности, хорошие характеристики безопасности, длительный срок службы.

9, электрическая печь может накачивать вакуум, атмосфера пропускания, вакуум может достигать 10 Па (механический насос), если требуется более высокая степень вакуума можно выбрать молекулярный насос, до 6.67x10 - 3Па.

Стандартная конфигурация:

1, 304 Фланец из нержавеющей стали

2, уплотнительное кольцо 4 шт.

3 Печь 2 шт.

4. Печь 1 шт.

5. Инструкция, гарантийная карта, сертификат соответствия 1 комплект

Кварцевая или корундовая трубка 1

Группа высоковакуумных насосов (группа молекулярных насосов)

Композитный молекулярный насосный агрегат серии GR - 620 / GR - 500F состоит из композитных молекулярных насосов серии F160 / 620 или композитных молекулярных насосов серии FF - 160 / 500F, переднего насоса, отсекающего выпускной клапан, переднего трубопровода, выключателя воды, питания молекулярного насоса, системы обнаружения высокого вакуума (композитный вакуум), контрольного питания и т. Д. Собранного на стойке оборудования для получения чистого сверхвысокого вакуума. Удобная установка, простая в эксплуатации, простая в соединении, надежная производительность, может широко использоваться для анализа поверхности, ускорительной технологии, полупроводникового оборудования, плазменной технологии, производства электрических вакуумных устройств и вакуумных технологий во всех областях.

Технические характеристики агрегата молекулярного насоса FJ - 620:

GR.TFТип и спецификация вакуумных трубчатых печей серии