трехмерный оптический контур поверхности

Совершенно новый дизайн.Три измеренияОптический контур поверхностиS неоксПереломить традицию, объединить технологии общей фокусировки, интерференции и мультифокальной суперпозиции в одном, измерить головку без движущихся частей.

Измерительная техника:

Совокупная фокусировка

Метод общей фокусировки может быть использован для измерения формы поверхности различных образцов. Он имеет более высокое поперечное разрешение, чем оптический микроскоп, до 0,10um. С его помощью могут быть достигнуты измерения критических размеров. При объективе с 150 - кратным числовым отверстием 0,95 фокусируется на измерении наклона до 70 ° на гладкой поверхности (86 ° на грубой поверхности). Алгоритм конфокальности гарантирует повторяемость измерений по оси Z в наносфере.

Вмешательство

Фазовые интерференции (PSI)

Фазовая интерференция - это технология с субнанометровой точностью, используемая для измерения высоты гладкой поверхности. Его преимущество заключается в том, что любое увеличение гарантирует продольное разрешение субнанометрового уровня. С помощью 2,5 - кратного объектива можно измерить большое поле зрения с очень высоким продольным разрешением.

Интерференция белого света (VSI)

Интерферометрия белого света - это метод измерения точности на наноуровне для измерения высоты различных поверхностей. Его преимущество заключается в том, что любое увеличение гарантирует продольное разрешение на наноуровне.

мультифокальная суперпозиция

Метод мультифокальной суперпозиции используется для измерения очень грубой формы поверхности. Основываясь на обширном опыте Sensofar в области комбинированного применения технологий с общей фокусировкой и интерференцией, эта функция была специально разработана для удовлетворения потребностей в измерениях с низкой фокусировкой. Большими изюминками технологии являются быстрота (mm / s), большой диапазон сканирования и большой поддерживающий наклон (86 °). Эта функция особенно полезна для измерения деталей и форм.

Программное обеспечение для измерения и анализа

SensoSCAN

SensosCAN - это простое и дружественное операционное программное обеспечение. Он вводит пользователей в мир 3D, предлагая * пользовательский опыт. В программном интерфейсе пользователи могут интуитивно и четко понимать используемые методы измерения, а также отображать и анализировать данные.

Мощное профессиональное аналитическое программное обеспечение

С помощью программного обеспечения SensoPRO LT или SensoMAP можно легко проводить автоматические измерения и анализ.

Применение:

Три измеренияОптический контур поверхностиS неоксУдовлетворяет ваши различные прикладные требования и играет ключевую роль в полупроводниковой, биомедицинской и биотехнологической промышленности.