• Что такое полупроводник

Полупроводник (semiconductor) - материал, проводящий при комнатной температуре между проводником (conductor) и изолятором (insulator).

Полупроводники в соответствии с технологией производства можно разделить на: устройства с интегральными схемами, дискретные устройства, фотоэлектрические полупроводники, логические IC, аналоговые IC, накопители и другие категории.

• Что такое чип

Чипы, также известные как микросхемы (microcircuit), микрочипы (microchip), интегральные схемы (integrated circuit, IC). Это относится к кремниевым пластинам, содержащим интегральные схемы, которые имеют небольшой размер и часто являются частью компьютера или другого электронного устройства.

• Процесс изготовления

Примечание: CMP - химически - механическая полировка*Фото из сети

• Фотолитография и гравирование

Фотолитография - это процесс переноса графики на фоторезист, покрытый поверхностью полупроводникового кремния. Эти фигуры должны быть перенесены на тонкие слои, составляющие устройство под фоторезистом, процесс, который мы называем травлением, т.е. избирательное выщелачивание незащищенной части слоя.

• Метод травления

Существует два основных метода травления: мокрое химическое и сухое травление.

Механизм мокрого химического травления состоит в основном из трех этапов: реактор распространяется на поверхность реактора, химическая реакция происходит на поверхности, а затем через диффузию реакционный продукт удаляется с поверхности. Влажное химическое травление более подходит для травления поверхности поликристаллического кремния, оксидов, нитридов, металлов и соединений группы III - V.

Технология ближней инфракрасной спектроскопии широко используется в полупроводниковой промышленности из - за ее следующих * преимуществ.

• неинвазивный метод
• Предотвращение мелких загрязнений
• Высокая точность, хорошая воспроизводимость
• Не нужно разбавлять образцы
• Можно количественно анализировать.
• Это химический анализ и физические показатели.
• Онлайн - инфракрасный спектрометр со специальным волоконно - оптическим зондом может быть интегрирован во всю систему

► Пример применения 1: использование спектрометра ближнего инфракрасного спектра для определения смеси кислотного травления

Для измерения спектра были выбраны колориметрические чашки с диаметром 1 мм и 4 мм, соответственно, и спектр наблюдения показывает, что спектральный шум колориметрической чашки начинает увеличиваться с расстояния 4 мм от 1900 нм, поэтому мы выбрали 1 мм световой диапазон для измерения.

Благодаря программному моделированию Vision и измерениям содержания компонентов смеси кислотного травления и значений, проанализированных обычными методами в лаборатории, как показано в таблице ниже, можно увидеть, что прогнозы в ближнем инфракрасном диапазоне в основном согласуются с лабораторными методами с небольшими ошибками.

► Пример применения 2: определение очищающей жидкости с помощью онлайнового спектрометра в ближней инфракрасной области спектра

На приведенном ниже рисунке показан непрерывный мониторинг состояния очищающей жидкости SC1 клиента с помощью швейцарского онлайн - спектрометра Wantong в ближней инфракрасной области спектра. Мы видим, что с потреблением очищающей жидкости NH₄Содержание OH постепенно уменьшается, и клиенты могут управлять процессом очистки в соответствии с контролируемой ситуацией.

► Пример применения 3: динамический мониторинг изопропилового спирта IPA с помощью онлайн - спектрометра ближнего инфракрасного спектра

Изопропилол IPA используется в качестве очищающего и удаляющего средства, и в процессе очистки в растворитель смешиваются примеси. Его ближний инфракрасный спектр, как показано ниже, в диапазоне длин волн от 1900 до 2000нм, ясно показывает влияние примеси EKC - 265 на спектральную карту.

Мы используем этот диапазон для создания ближней инфракрасной модели EKC - 265, которая может видеть R модели²До 9.9989, SEC составляет 00629. Используя эту модель, мы можем контролировать изменения содержания примесей в изопропиловом спирте.

Швейцарский DS2500жидкостный анализатор ближнего инфракрасного спектра

Швейцария XDSОнлайновый анализатор ближнего инфракрасного спектра

• неразрушающая спектроскопия
• Диапазон волн 800 - 2200 нм для широкого применения
• Качественный анализ, многокомпонентный количественный анализ и анализ тенденций в режиме реального времени
• Оборудование соответствует уровню защиты NEMA4X.
• Химические реагенты не нужны, экология экономит деньги
• Тефлон