LAUDA-Noah POU

термоэлектрический технологический термостат, специально разработанный для полупроводниковой промышленности, температурный диапазон от- Двадцать.до90 ° С

Основываясь на проверенном на практике принципе теплопроводности, система управления температурой термоэлектрической энергии LAUDA - Noah POU обеспечивает многократное регулирование температуры для применения плазменного травления. Для динамического контроля температуры электростатического патрона (ESC) POU может быть применен ко всем типам процессов травления.

Высокоэффективная энергосбережение, экономия пространства, а также стабильный контроль температуры, эта интеллектуальная система идеально улучшает однородность wafer to wafer.