MOCVD называется химическим осаждением органических металлов в газовой фазе и состоит из металлических органических веществ (например, TMGa, TMAI, TMIn, TEGA и т.д.) и алкильных классов (например, AsH).₃, РН₃, НХ₃ и т.д.) Технология химического осаждения в газовой фазе сырья для выращивания монокристаллической пленки, которая расширяется в газовой фазе на подложке путем реакции термического разложения. Металлоорганические соединения в основном представляют собой жидкости с высоким давлением пара, которые переносятся водородом, азотом или другими инертными газами в качестве переносчиков и смешиваются с алкилами, а затем реагируют при высоких температурах в реакционной камере.

Водород выступает в качестве переносчика газа в MOCVD, транспортируя металлические органические вещества III (II) и гидроиды V (VI) группы, а также источники легирования в реакционную камеру, обеспечивая основу для химических реакций осаждения и роста пленки. MOCVD требует чистоты водорода ≥99,99% (≥5N) при импортном давлении 4 - 7 бар, в то время как водород, производимый генераторами водорода серии Proton G4800 и S, может соответствовать требованиям использования газа в этой области.

Протон G4800

Протон S20/S40

Среди них чистота водорода, выводимого Proton G4800, составляет 999999% (6N), содержание воды менее 1 ppm, чистота водорода превосходит требования оборудования MOCVD, что способствует улучшению качества полупроводниковой пленки и производительности оборудования; В то же время чистота водорода остается неизменной, уменьшая влияние колебаний чистоты водорода на оборудование.

Кроме того, генераторы водорода серий G4800 и S производят водород в полевых условиях, а запасы водорода внутри генераторов невелики. В то же время, встроенный детектор горючего газа, после утечки водорода, генератор сигнализации остановится, снизит коэффициент опасности водорода.

Кроме того, оборудование этой серии удобно в эксплуатации, обеспечивая непрерывную бесперебойную подачу водорода, пользователям не нужно беспокоиться об истощении водорода и не нужно вступать в контакт с газовыми баллонами высокого давления. Генератор работает автоматически, без дополнительной ручной работы; Генератор автоматически обнаруживает собственное рабочее состояние и ошибки, и после обнаружения аномалии генератор вызывает тревогу.